マイクロオプティクス

ナノスクライブのレーザー直接描画システムを用いた多光子重合により、複雑且つ複製可能な2.5D構造を形成することができます。ポリマーで作製したマイクロ・オプティクスは、複製のためのモールドまたはパターン転写のためのマスターとして使用できます。2.5次元グレイスケール・リソグラフィや2次元のリフローを伴うUV露光と比べて注目すべき長所は明らかです。すなわち任意に複雑な形状を、1ステップで作製できるという点です。

これらストラクチャの例として、非球面のアレイのような屈折光学素子、フレネル・レンズのような回折光学素子、または積層マイクロレンズ等があります。加えてネガ型レジストは、ポジ型に比べて現像プロセスにセンシティブでないため、より高い再現性でプロセスチェーンを実行・完了できます。さらに高さ数百ミクロンに及ぶマイクロ・オプティクスを最適な解像度で作製できます。

自由曲面は2.5D構造の一種といえます。下部がくり抜かれながら表面は閉じているような形状や、複雑な形状ののマイクロオプティクス、キャリブレーション用サンプルといった、任意で複雑な表面構造を二光子重合で描画できます。